樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素*的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。

Teledyne Leeman Labs 公司新一代Prodigy Plus等離子體光譜儀，是在原有產品的基礎上，對儀器進行重大調整后的產品。搭載Teledyne集團影像部量身定制的CMOS固態檢測器，采用28*28mm設計，有效像素點高達338萬。光敏面積和靈敏度都得到顯著提高，讀取速度更是較傳統CID/CCD檢測器提高10倍以上，有效克服了市面上現有ICP光譜儀受檢測器像素太少、面積太小的制約，而且 Prodigy Plus 固態檢測器后置強勁CPU處理系統，對全譜信號進行非破壞性實時處理，使固態檢測器的信號處理技術提升到一個新的臺階，并有效擴展了ICP的分析范圍，分析能力和性能有了很大改進與突破，適用范圍更加廣闊。